国产DUV曝光机

传中国实现国产DUV曝光机 可生产8奈米及以下芯片

中国大陆科技自媒体星期六（9月14日）转发消息后称，中国自己的DUV曝光机终于来了，虽然与荷兰阿斯麦（ASML）曝光机存在代差，至少己填补空白，可控可用，期待之后能研发出更先进的极紫外光曝光机（EUV）。