【花莲强震】全台晶圆厂受损或逾百亿新台币

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台湾花莲7.2级强震打乱了全台半导体生产,市场预估,全台7座晶圆代工厂因强震损失的晶圆产值高达逾百亿元新台币。

综合台湾《联合报》、中央社和路透社报导,台湾花莲近海星期三(4月3日)发生里氏规模7.2强震,晶圆厂主要所在地新竹、台中等地震度均达里氏5,且后续余震不断,据统计主震加上有感余震共计超过300次。

根据台湾半导体及面板厂等无尘室防灾规范,一旦厂区发生规模达里氏4的地震,机台就会主动停机,所有工厂须疏散无尘室人员,以预防有毒气体、液体外泄事故发生。

地震发生后,全台主要晶圆厂包括台积电、世界先进、联电、力积电、南亚科、华邦、旺宏等7家业者几乎都出现生产线破片与停机的状况。

台积电:部分设备受损 庆幸EUV未受损

作为全球晶圆代工龙头的台积电星期三晚发声明说,部分厂区少数设备受损影响部分产线生产,但主要机台包含极紫外光(EUV)微影设备皆无受损;目前晶圆厂设备复原率已超过70%,新建晶圆厂复原率更已超过80%。

台积电指出,晶圆厂工安系统正常,为确保人员的安全,公司内部启动相关的预防措施,在地震发生的第一时间进行疏散。

台湾花莲省近海星期三发生7.2级强震,位于花莲市轩辕路的天王星大楼严重倾斜,入夜后大楼外观玻璃也反映出周遭断垣残壁。(图:中央社)

世界先进说,强震后即时疏散公司员工,无人员受伤,对生产的实际影响仍确认中;联电说,影响轻微、会努力赶工弥补停工复机的损失,对财务业务无重大影响。

力积电回应,无人员受伤、无产线中断,但正确认石英炉管、机台设备有无损坏中;华邦指出,产线机台部分停机确认没问题后,已复机生产。

相较之下,集成电路(IC)设计业与封测业相对影响不大。

业内人士分析,晶圆厂内的黄光区对震动极其敏感,先进制程使用的极紫外光(EUV)、炉管等装置都难逃强震冲击,生产线上的晶圆恐怕都须报废重新来过,且余震不断更将干扰生产线恢复状况,影响晶圆厂生产与产出。

各晶圆厂仍需4至5天盘点受损情况

上述人士推测,从各厂说法来看,各晶圆厂仍需4至5天盘点地震后的受损情况。以各厂每月营业额估算,全台7大晶圆厂在星期三的强震后,晶圆产值损失过百亿元新台币。

彭博社称,这场25年以来的强震可能对全球科技产业和经济造成影响,由于台湾在生产尖端芯片上的关键作用,这些潜在影响是巨大的,因为这些芯片是人工智能(AI)、智能手机和电动车的根基。

不过,英伟达在声明中说:“在与我们的制造合作伙伴(台积电)协商后,我们预计台湾地震不会对我们的供应产生任何影响。”

英伟达的所有人工智能芯片订单全部交给了台积电。

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